에너지시스템학과

<대학원 에너지시스템학과 석사과정 이상민 학생(좌)과 김준모 학생(우)>

우리 학교 대학원 에너지시스템학과 석사과정 이상민 학생이 ‘반도체 국제학술대회(Korean International Semiconductor Conference on Manufacturing Technology 2023, KISM 2023)’에서 우수 논문상을 수상했다. 

이번 학술대회는 한국반도체디스플레이기술학회 주최로 지난 11월19일부터 22일까지 부산 해운대 파라다이스 호텔에서 개최됐다. 

이번 국제학술대회에서는 ‘비욘드 퍼스트 무버, 반도체 제조(Manufacturing Strategies for First Mover)’를 주제로, 전 세계 13개국 153개 기관 소속의 620여명 산·학·연 전문가들이 참석했다. ▲삼성전자 ▲SK하이닉스 ▲IMEC ▲TEL ▲HITACHI 등 주요 반도체 기업들이 참여, 총 360여편의 논문이 발표됐다.

우리 학교 에너지시스템학과 이상민 학생은 '헤프늄-지르코늄 복합산화물(HZO) 강유전체에 대한 산화니오늄(Nb2O5) 층간의 영향(Effect of Nb2O5 interlayer on HZO ferroelectric device)'라는 제목의 논문을 발표했다. 지도는 첨단신소재공학과·대학원 에너지시스템학과 서형탁 교수가 맡았다. 

수상 논문에서는 최근 차세대 메모리 소재로 주목받고 있는 하프늄-지르코늄 산화물에 산화니오븀 중간층을 추가하여 강유전성 특성과 소자 신뢰성이 대폭 향상된 비휘발성 강유전 스위칭 채널을 원자층증착공정으로 보고했다. 이상민 학생은 이번 논문으로 ‘2023 한국재료학회 추계학술대회'에서도 우수논문발표상을 수상했다.

이상민 학생은 "KISM 2023에서 우수 논문상을 수상하게 되어 영광"이라며 "지도교수님의 헌신적 지도와 연구팀의 노력이 함께 했기에 얻은 결과라고 생각한다"라고 말했다.

‘반도체 국제학술대회(KISM 2023)’는 반도체 주요 공정 및 대한민국 소·부·장 산업이 나아가야 할 기술적 방향을 제시하고 ▲국내 반도체 제조공정 ▲소·부·장 관련 산업 ▲산·학·연·관 ▲수도권-지방간 강건한 현업 생태계 구축 등을 위한 경쟁력 강화에 기여하기 위해 마련됐다. 

한편, '2023 한국재료학회 추계학술대회'에서 우리 학교 대학원 에너지시스템학과 석사과정 김준모 학생도 우수논문발표상을 수상했다.

추계학술대회는 지난 11월15일부터 17일까지 경주 라한호텔에서 개최되어 재료 분야의 산·학·연 전문가들이 450여편의 논문을 발표했다.

우리 학교 에너지시스템학과 김준모 학생은 'HfN을 이용한 MIM 구조에서 열처리 온도 따른 HfO2의 강유전체(Ferroelectric) 특성'이라는 제목의 논문을 발표했다. 

김준모 학생은 최근 차세대 메모리 소재로 주목받고 있는 하프늄 산화물을 HfN 전극을 이용하여 더 낮은 온도의 열처리시 발현시킴으로써 향상된 비휘발성 강유전 스위칭 채널을 스퍼터링공정으로 보고하여 주목을 받았다.

한국재료학회는 재료과학과 공학분야의 권위있는 학회로, 매년 춘·추계학술대외를 열어 ▲금속재료 ▲에너지재료 ▲반도체재료 ▲전지·센서 재료 ▲나노·박막 재료 등 첨단산업분야 재료과학과 공학 분야 신소재 개발 연구에 기여하고 있다.