[2021.12.01] 에너지시스템학과 최주완, <차세대 리소그래피 학술대회> 혁신논문상
- 김솔비
- 2021-12-01
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우리 학교 에너지시스템학과 석사과정 최주완 학생이 <2021 차세대 리소그래피 학술대회>에서 혁신논문상을 수상했다. 이 대회는 한국광학회와 극자외선노광기술 국가연구협의체가 주관했다.
지난 11월17일부터 11월19일까지 강원도 평창에서 열린 이번 학술대회는 온라인과 오프라인으로 동시에 진행되었다. 올해는 ASML과 칼자이즈에서 기조강연을 맡았고, 삼성전자와 SK하이닉스를 포함한 다양한 국내 반도체 관련 회사 관계자들과 대학 연구진들이 첨단 리소그래피 기술에 대한 소개와 토론을 진행했다. 행사 마지막날인 19일에는 ASML TechTalk이 열려 이 회사에 관심 있는 학생들을 위한 기술발표회가 진행됐다.
학생논문상은 반도체 집적회로 기술인 리소그래피 분야에서 혁신적 연구결과를 발표한 대학원생들에게 수여됐다. 세계적인 반도체 리소그래피 장비업체인 ASML이 이 상을 후원한다.
우리 학교 최주완 학생(사진)은 Alternative Llithography분야에서 ‘Eco-friendly deep ultraviolet photolithography using silk photoresist’라는 제목으로 발표, 혁신논문상을 받았다.
그는 이 연구에서 최근 의공학 분야에 헬스케어 소재로서 주목받고 있는 실크 단백질을 포토리소그래피에 접목시켜 나노 격자패턴을 제작하였고, 이를 통해 실크의 광학적 특성과 생체친화적인 특성을 활용한 바이오 광학소자의 구현을 보고했다. 논문 지도는 김성환(대학원 에너지시스템학과 ·물리학과) 교수가 맡았다.
김성환 교수는 “이번 수상은 연구실에서 장기간 추진하여 온 리소그래피 기술개발에 기여한 최주완 학생의 노력과 성취가 인정받은 결과”라며 “현재 진행 중인 연구를 격려하며, 향후 좋은 연구성과로 이어지길 기대한다”고 전했다.